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特種氣體的雜質(zhì)檢測和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從zui早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，特種氣體廠家，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

管道系統(tǒng)的設(shè)計

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，特種氣體生產(chǎn)廠家，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計

在確定好氣體房和用氣點以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計了備用系統(tǒng)。

特種氣體的殺菌

影響滅菌的因素　　

溫度：

　　溫度的常規(guī)極限一般在37℃～63℃，1常用的溫度一般為50±5℃。但是當溫度高到足以使藥1物發(fā)揮1大作用時，長沙特種氣體，在升高溫度，則殺菌效果亦不再提高。滅菌溫度的確定同以下條件有關(guān)：1）所滅產(chǎn)品的溫度耐受性。2）裝載量及裝載方式，要求裝載量≤80%，特種氣體價格，不接觸柜壁，各箱體之間有不小于5cm的間隙。3）包裝材料的厚度、大小，堆積密度。

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